CD-SEM国产替代加速 东方晶源批量导入突破

时间：2026年08月26日 10:56:44 中财网

　　CFi.CN讯：数据显示，全球CD-SEM市场规模将从2025年8.58亿美元增至2032年14.95亿美元，CAGR达8.5%。国内在晶圆厂扩产与国产化率硬性要求驱动下，量检测设备需求持续扩容。东方晶源已实现12英寸CD-SEM在产线的批量验证与导入，分辨率、产能等核心指标对标国际主流水平。

　　
　　近期机构研报指出，CD-SEM是7nm以下先进制程中不可替代的关键尺寸量测设备，尤其在EUV薄胶监控和高深宽比结构测量中具备唯一性。其价值正从‘看得清’升级为‘量得准、量得快、可闭环’，直接支撑光刻-刻蚀工艺闭环控制。

　　
　　研报认为，国产替代已跨越首台验证阶段，进入批量导入关键窗口。随着中芯国际、长江存储等大厂加速验证，整机厂商及上游核心部件企业如长光辰芯、埃科光电将同步受益。设备订单落地节奏有望超预期，带动产业链价值重估。