中微公司(688012):2027年度“提质增效重回报”2.0行动方案
2027年度“提质增效重回报”2.0行动方案 为践行以“投资者为本”的上市公司发展理念，维护公司全体股东利益，基于对公司未来发展前景的信心及价值的认可，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）在总结2026年度行动方案的基础上制定了2027年度提质增效重回报2.0行动方案，以进一步提升公司经营效率，强化市场竞争力，保障投资者权益，树立良好的资本市场形象。主要措施包括： 一、专注公司核心业务，突破创新提升竞争力，以良好的业绩成长回报投资者 半导体微观加工设备作为数码产业的基石，是发展集成电路和数码产业的关键，中微公司自2004年成立以来，一直致力于开发和提供先进的微观加工所需的高端关键设备，是典型的新质生产力代表。凭借创新的研发团队和深厚的客户关系，公司聚焦布局核心设备，关键技术不断突破创新，并快速扩增产品线及扩大产品在国内领先客户的市场占有率。公司主营产品等离子体刻蚀设备和薄膜沉积设备是除光刻机以外，非常重要的、也是市场空间广阔的关键设备。公司在过去的20多年着力开发了一个完整系列的26种等离子体刻蚀设备，并积累了大量的芯片生产线量产数据和客户验证数据。近两年新开发的沉积各种导体薄膜的LPCVD设备和ALD设备，目前已有多款设备产品顺利进入市场并获得重复性订单。公司目前可以提供5纳米及更先进的芯片刻蚀设备，从2012年到2025年的十余年中，公司销售额年均增长率超过35%。公司2026年前三季度营业收入约103.26亿元，较2025年同期增加约22.64亿元，同比增长约28.08%。 2027年，公司将继续瞄准世界科技前沿，秉承三维立体发展战略，持续锻造并提升经营管理能力，实现高速、稳定、健康和安全的发展。具体包括以下方面：1、聚焦核心主业，加速新产品推出 公司所从事的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是集成电路前道核心设备，公司提供的MOCVD设备是先进显示和功率器件生产所需的关键设备。2027年，公司将继续聚焦集成电路及泛半导体相关领域的刻蚀和薄膜设备，根据客户及市场需求升级迭代产品，并开发更多品类设备，进一步推进更多先进技术的研发，持续突破关键技术，覆盖更多的刻蚀和薄膜应用，继续推进公司单台和双台刻蚀CCP和ICP刻蚀设备以及更多品类的薄膜设备，在主要客户芯片生产线上市场占有率提升。同时，推进公司的TSV硅通孔刻蚀设备也越来越多地在先进封装和MEMS器件生产。 公司近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中，薄膜设备累计出货量已突破500个反应台，其他多种薄膜沉积设备也将陆续进入市场，能够覆盖全部类别的先进应用；公司硅和锗硅外延EPI设备已顺利运付客户端进行量产验证，并且获得客户高度认可。 在MOCVD领域，用于氮化镓基LED外延生产的设备已在行业领先客户生产线上大规模投入量产，自2017年起已经成为氮化镓基LED市场份额最大的MOCVD设备供应商，牢牢占据行业内的领先地位。公司在Micro-LED和高端显示领域的MOCVD设备开发上取得了良好进展，样机验证进展顺利，其性能 与可靠性已满足客户产线要求，并获得客户的重复订单。公司正积极布局用于氮 化镓基功率器件领域，新型MOCVD设备目前已发往下游客户进行量产验证， 为GaN功率器件外延设备的国产化做好充分准备。另外，公司已付运红黄光LED 应用的设备样机至国内领先客户开展生产验证，目前样机验证进展顺利。针对光 通讯等新兴应用需求，公司积极与行业领先客户开展合作，于报告期内启动磷化 铟（InP）材料体系专用MOCVD设备的开发，实验室已取得良好进展。随着微观器件越做越小，量检测设备也成为了更关键的设备，为占总设备市场约13%的第四大设备门类。公司通过投资和成立子公司，全面布局了量检测设备板块，子公司超微公司引入多名国际顶尖的电子束量检测设备领域专家和领军人才，均拥有10年以上电子束设备研发与产品商业化经验，已规划覆盖多种量检测设备产品。 2026年，公司完成对众硅公司控股权的收购，完成了对化学机械抛光（CMP）设备的覆盖，实现从“干法”向“干法+湿法”整体解决方案的关键跨越。这一整合不仅填补了上市公司在湿法设备领域的空白，更显著提升了公司在先进制程中为客户提供系统级整体解决方案的能力。面对先进晶圆厂和先进存储厂对工艺协同性、产线稳定性与整体效率日益严苛的要求，上市公司可为客户提供高度协同的成套设备解决方案，大幅缩短工艺调试和验证周期，从而增强客户黏性，加速上市公司在主流产线的规模化渗透。 2、持续自主创新，进行高水平研发投入 持续较高水平的研发投入是公司保持核心竞争力的关键。公司面向世界先进技术前沿，以国际先进的研发理念为依托，专注于高端微观加工设备的自主研发和创新。公司积累了深厚的技术储备和丰富的研发经验，这一优势保证了公司产品和服务的不断进步。 2026年公司在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。2026年前三季度公司研发投入约32.22亿元，同比增长约27.70%，研发投入占公司营业收入比例约为31.20%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场。 公司拥有多项自主知识产权和核心技术，截至2026年9月底，公司已申请3,953项专利，其中发明专利3,176项，占比达80.34%；已获授权专利2,500项，其中发明专利1,984项。 2027年，公司将坚持以市场和客户需求为导向，继续加大研发投入和业务开拓力度，鼓励技术创新，公司计划在全球申请多项专利，并持续改善量产机台的运行时间和生产效率，进行更多的关键制程的工艺开发和验证。 3、加大市场拓展力度，提升品牌形象 随着全球半导体设备市场持续扩大和技术的不断创新，公司发挥产品技术及销售服务竞争优势，强化公司产品竞争力和品牌形象，深化同国内外客户的业务合作，以更好的市场形象和更专业的服务为客户提供产品解决方案。 2027年，公司将加大市场推广力度，参加包括SEMICONChina、CSEAC、湾芯展、工博会等重量级行业展会，支持多次行业学术会议并安排技术专家参与演讲交流，分享公司产品及技术等进展，提升公司影响力和产品的知名度。作为SEMI、中国半导体行业协会等国内外十多家行业协会/联盟的重要成员单位，中微公司将继续参加业界重要活动，履行社会责任，扩大公司的行业影响力。 4、内生与外延发展并重，实现产业链协同发展 公司不断践行外延式发展策略，在持续聚焦集成电路关键设备领域、继续扩展部分泛半导体关键设备领域(传感器，LED照明，功率器件，FPD显示屏设备等)的基础上，不断探索公司核心技术在其他新兴领域和国计民生上的发展机会。 中微公司的子公司，包括聚焦环境保护节能减排设备和清洁能源的“中微惠创”、开发中小企业营运软件系统的“中微汇链”、探索数码技术在大健康领域应用的“芯汇康”，在2026年也都取得了良好的进展。公司将继续坚持以高端半导体设备为核心，开发更多有竞争力的设备产品；同时积极考虑通过投资和并购，推动公司更快发展。公司积极谨慎布局产业链上下游部分重点领域，公司参与投资的标的公司在各自细分领域取得了卓有成效的进展，得到了市场认可和用户的积极评价。公司从上市以来投资了40多家产业链上下游企业，实现了良好的经济效益和战略协同效果。2026年，公司以14.7亿元认购上海智微凌峰创业投资合伙企业（有限合伙）支持智微资本继续深耕半导体产业链，与公司业务形成良好的协同效应。 在高度竞争的产业形势下，公司考虑在有机成长的同时，通过投资、并购国内外高端的半导体设备及关键零部件厂商，使公司能够覆盖更多的产品品类、占领更多细分市场，为公司的长期高速稳定发展奠定基础。2027年，公司会继续重点考虑布局半导体和泛半导体领域，以及产业链上下游有协同效应的公司。 二、优化运营管理，提高经营质量与效率 1、提高运营效率 公司在营运管理中采用关键指标管理，尤其在生产管理、材料管理、客户技术支持和设备运行表现方面设定了一系列的关键考核指标，覆盖了质量、效率、成本和安全等众多方面。公司定期跟踪各项指标的执行情况，并根据统计结果和客户反馈，制定出关键指标的改进要求。公司建立了高效的库存管控体系，设置合理的库存警戒线，以加快存货周转。2027年，公司将持续在中微临港等生产基地，推进智能工厂项目和精益管理，提升人员及营运效率，缩短设备交付周期，并努力保持客户订单准时交付。 2、提高盈利质量及资金效率 公司将持续进行市场拓展，继续履行客户全球化发展战略，在立足国内超大规模市场的前提下，积极适应国际形势，加强全球市场的开拓，并着重在新产品、新应用拓展和新领域开发，提高公司在全球半导体设备市场占有率，提高公司盈利质量水平。 由于公司所处半导体设备行业具有资金密集性的特征，产品技术升级快，研发投入大，并且研发投入早于应用层面。公司将合理利用资金，使得研发成果与产品布局早于客户需求。公司将通过优化库存、加快新产品在客户端的验收、加快回款、闲置资金理财等举措，提高资金使用效率及使用效果。 3、夯实供应链稳定安全 公司持续完善供应链管理体系，通过建立完善的供应链管理制度体系和管理架构，推动供应链的高效、规范管理。2026年，公司召开全球合作供应商大会，参会供应商超过800家。公司科学管理供应厂商，对关键零部件供应商采取多厂商策略保障零部件及时供应。2027年，公司将继续加大供应商本土化和多元化的投入，开展培训及技术交流，在合作的深度和广度上进一步加强，为降本增效和供应链安全提供更加坚实的保障。 4、优化管理层及员工营运考核要求 公司在营运管理中采用关键指标管理，尤其在生产管理、材料管理、客户技术支持和设备运行表现方面设定了一系列的关键考核指标，覆盖了质量、效率、成本和安全等众多方面。公司营运效率持续提高，设备交付按时率保持在较高水准、物料成本控制等指标达到预期水平。2027年，公司将定期跟踪各项指标的执行情况，并根据统计结果和客户反馈进行内部讨论，制定出关键指标的改进要求。 公司制订了与公司经营业绩与研发进展紧密相关的激励计划，激励计划的设定有助于促进公司发展、维护股东权益，为公司长远稳健发展提供机制和人才保障。而公司对激励计划亦设定了营业收入增长率公司层面业绩考核要求，和目标管理（MBO）规定作为个人层面的业绩考核要求，锚定公司经营状况、成长性、盈利能力等与投资者利益紧密相关的指标，并设定了具有一定挑战性的考核目标，绑定管理层和员工的利益与公司发展目标达成，有助于提升公司整体发展质量，增强投资者回报。 5、持续引进并培养人才 公司视“员工”为最宝贵的资产，致力于为员工提供广阔的职业发展空间，构建专业线、管理线发展双通道，并设计了形式多样的职业规划，拓展人才发展渠道。公司设立的中微学苑致力成为半导体设备行业人才培养的标杆，在CEO及由主要领导专家组成的指导委员会的指导和支持下，通过新定义的三大功能中心：专业培训中心、素质发展中心、校企合作中心，由运营中心团队负责具体规划、运营、实施，对内系统化培养不同岗位及层次的人才，发展行业一流人才，对外与不同层次院校、单位在人才培养、科研项目等方面进行合作，互惠双赢。 公司持续优化人才绩效评估体系及人才晋升机制，使得优势资源更进一步的向高绩效员工倾斜。公司已经通过全员持股方式，有效提高员工的忠诚度和凝聚力。 2027年，中微公司将进一步大力推进学习型组织的建设。在公司层面，部门层面，岗位层面持续开展各种类型培训和项目，推进在不同层面的学习文化建设。 根据业务发展需求，制定短期、中期和长期相结合的人力资源规划及具体实施办法，计划引进超过600名国内外专业人才，进行超过8万小时的系统性培训等措施持续提升员工专业能力。 三、重视提高股东回报，分享公司价值成长红利 公司高度重视股东的投资回报，努力为股东创造长期可持续的价值。公司积极实施现金分红并开展回购，增强投资者信心，推动公司股价同公司价值增长匹配。 2026年5月，公司实施了2025年年度利润分配方案，向全体股东每10股派发现金红利3.50元（含税），拟向全体股东每10股以资本公积转增4.9股，转增股本的数量由306,811,200股调整为308,132,056股，合计派发现金红利人民币220,094,325.85元（含税）。 2026年11月5日，公司召开第三届董事会第十八次会议，审议通过了《关于以集中竞价交易方式回购公司股份方案的议案》，同意公司以首次公开发行人民币普通股取得的超募资金及公司自有资金通过集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普通股（A股）股份，回购金额不低于人民币40,000.00万元（含），不超过人民币50,000.00万元（含），回购价格不超过人民币433.04元/股（含），回购期限为自董事会审议通过股份回购方案之日起12个月内，回购的股份拟在未来适宜时机用于公司股权激励或员工持股计划。 2027年，公司将根据所处发展阶段，结合业务现状、未来发展规划以及行业发展趋势，继续匹配好资本开支、经营性资金需求与现金分红/股份回购的关系，持续提升股东回报水平，落实打造“长期、稳定、可持续”的股东价值回报机制。 四、持续完善公司治理，防范风险并提升规范运作水平 公司高度重视公司治理结构的健全和内部控制体系的有效性，将持续完善公司治理和内部控制制度，防范外部风险，提高公司运营的规范性和决策的科学性，保障股东权益。具体方案如下： 1、完善内控建设，加强内部审计和风险控制 2027年，公司将持续完善内控建设，结合公司实际情况，在符合内部控制要求的前提下，着眼于管理创新，持续提升公司的内部控制管理体系。 公司将完善风险预警和应对机制，定期开展内部审计和风险评估，确保公司稳健运营和合规经营。 2、深化公司治理、强化“关键少数”责任 2026年3月30日，公司董事会审议通过《关于修订<董事、高级管理人员薪酬管理制度>的议案》。为进一步促进公司规范运作，按照《上市公司治理准则》相关要求，结合公司实际经营情况，公司对《董事、高级管理人员薪酬管理制度》进行了修订。 2027年，公司将继续密切关注并确保遵守其运营地所在国家和地区的最新法律法规和政策要求，持续推进公司治理制度体系建设，加强董监高等关键管理人员相关制度培训学习，提高制度执行力，同时充分发挥独立董事作用，强化履职保障，提高董事会决策的科学性、高效性和前瞻性。 3、加强董事会建设，安排董高培训 公司将根据《公司法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规以及《公司章程》等相关规定组织公司董高积极参与上交所、证监局等监管机构举办的相关培训，并安排董高参加专业机构和公司内部专业人员的培训，推动公司董高在尽职履责的同时，持续学习包括新《公司法》在内的最新法律，学习掌握证券市场相关法律法规、熟悉证券市场知识、理解监管动态，不断强化自律和合规意识，推动公司持续规范运作。 4、防范行业经营风险，积极应对国际摩擦及知识产权风险 设备市场周期性波动态势给公司带来相应的经营风险。公司不断提升产品在关键客户市场占有率，并拓展新的业务领域来应对相关周期性波动风险。 近年来，国际贸易摩擦不断，少数国家限制中国半导体行业发展。公司严格遵守中国和他国法律，一直保持与相关国家政府部门的及时沟通，推动实现稳健经营。此外，公司一贯重视自主知识产权的研发，建立了科学的研发体系及知识产权保护体系，防范潜在的知识产权纠纷风险。 五、发展企业文化，积极践行社会责任 公司高度重视企业管理文化建设，经过多年的实践发展，形成了以“产品开发的十大原则”、“战略销售的十大准则”、“营运管理的十大章法”、“领导能力的十大要点”和“精神文化的十大作风”为核心的企业管理文化。2027年公司将不断强化“五个十大”的企业文化，提升组织凝聚力和向心力，增强员工和各界对中微公司的认同感，秉承“攀登勇者，志在巅峰”企业精神，不断攀登新的发展高峰。 公司致力于为客户和市场提供性能优越、高生产效率和高性价比产品，促进技术创新、引领行业发展的同时，高度重视在环境、社会及管治（ESG）等领域的建设，董事会及其专门委员会先后审议通过《中微公司2025年环境、社会和公司治理报告》。 2027年，公司将继续在开发绿色节能产品的设备产品基础上，努力降低能源消耗，降低含氟化学品使用，不断提升能源使用效率，提升可再生能源使用比例。公司在2027年也将继续开展关爱特困老人、支持教育发展、支持儿童健康公益项目等活动，并持续拓展与知名高校的交流合作，助力培养新一代行业人才。 六、高质量信息披露，积极传递公司投资价值 公司高度重视投资者关系管理工作，严格遵守法律法规和监管机构规定，严格执行公司信息披露管理制度，真实、准确、完整、及时、公平地履行信息披露义务。 2027年，公司将继续通过上市公司公告、投资者交流会、业绩说明会、接待投资者现场调研、上证e互动、电话、邮件等诸多渠道，将公司经营成果、财务状况等情况，及时、公开、透明地传达给市场参与各方。 我们还将以一图读懂、视频解读、图表、图片等形式，并在微信公众号上使用尹志尧董事长“数字人”等新媒体传播手段，以更加便于理解、更加直观的形式，阐述公司产品及业务、公司治理，并总结经营成果表现，将公司营运及财务表现全面、全方位地呈现在投资者面前。 2027年，公司将于每次定期报告后，召开公司管理团队参与的业绩说明会，全年组织、参加与投资者线上线下路演交流活动不少于100场次，让投资者全面、及时地了解公司的经营状况、发展战略等情况，增进投资者对公司的信任与支持，打造高效透明的沟通平台。公司将邀请投资机构、分析师及有兴趣的投资者，于临港基地现场参观公司的生产线、办公区域，更加直观、贴近感受中微公司的创新文化。 七、持续评估完善行动方案，维护公司市场形象 公司将持续评估“提质增效重回报”行动方案的具体举措，及时履行信息披露义务。公司将继续专注主业，提升公司核心竞争力、盈利能力和风险管理能力，通过良好的业绩表现、规范的公司治理积极回报投资者，切实履行上市公司责任和义务，回报投资者信任，维护公司良好市场形象。 本报告所涉及的公司规划、发展战略等系非既成事实的前瞻性陈述，不构成公司对投资者的实质承诺，敬请投资者注意相关风险。 中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会 2026年11月14日 中财网
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